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硅基电磁式MEMS微扬声器结构设计与制作

发布时间：2025-04-14
学院授予单位中国科学院大学
学位年度2013
学位名称2
导师姓名暂无
作者名称刘文俊
学科专业暂无
分类号TN643;TB383
提取词暂无
关键词微机电系统　　微扬声器　　硅基薄膜　　悬臂梁　　钐钴磁铁
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