硅热还原法生产稀土硅铁合金的冶炼设备，通常借用标准炼钢电弧炉及配套设备。对设备的总体要求是能适应不同原料生产多种产品，节约能源，有较高的机械化和自动化程度，生产效率高，使用寿命长，易于维护和有利于环境保护。
炉顶料斗装料。由于固体稀土富渣的导电性不良，对其只能采用先起弧后装料的方式。先将炉料装人料斗进行计算，然后用吊车运往炉顶料仓内储存。电弧炉起弧后，需要加料时可将料仓的闸门打开，炉料通过导料管从炉盖的加料孔流到炉内。每台电弧炉可以根据其容量的大小设1~2个加料孔。
增大熔池深度。出于冶炼稀土硅铁的炉料体积大，而且在冶炼时常出现熔渣沸腾的现象，因此必须增大熔池深度，扩大熔池体积，以满足冶炼稀土硅铁合金的要求。实践中常采用提高炉门槛位置来增大熔池深度。
用碳质炉衬。含氟稀土炉渣用碱性或酸性耐火材料砌筑的炉衬有较强的腐蚀性，炉衬寿命较短，降低了电弧炉的作业率，因此需改用耐氟的碳质炉衬，增设排烟除尘设施。电弧炉冶炼稀土硅铁合金过程中产生了大量的烟气，其含尘量可达2g/m3， 并且含有氟等有害气体，严重恶化了作业环境。目前稀土合金生产厂普遍采用烟罩收集烟气，用引风机将烟气通过布袋或静电除尘，达到排放标准的烟气对空排放。