锂热还原稀土氯化物与钙还原不同。前者的还原过程是在气相中进行，还原产出的稀土金属固体结晶中杂质含量较少。还原过程的最高温度为1000℃。此时稀土金属为固态，而LiCI分别在约700℃和1400℃下熔化和沸腾，故还原渣可以采用排出之后接着进行真空蒸馏的方法除去。
还原设备要求同钙热还原稀土氯化物的设备要求。不同的是锂热还原氯化钇工艺中反应器分两段加热区，还原和蒸馏过程在同一设备中进行。无水氯化钇放在上部的钛制反应器坩埚中(也是YCl 3蒸馏室)，还原剂金属锂放置在下部的坩埚中，然后将不锈钢反应罐抽真空至7Pa后开始加热，温度达到1000℃时保持一定时间，使YCl 3蒸气与锂蒸气充分反应，还原出来的金属钇固体颗粒落在下部坩埚。还原反应完成后，只加热下部坩埚，把LiCI蒸馏到上部坩埚。还原反应过程需要10h左右。为了用该法得到较纯的金属钇，无水YCl 3用分析纯盐酸溶解，在干燥氯化氢气氛中脱水并将无水氯化钇进行真空蒸馏处理，还原剂锂用99.97%高纯锂，这样制得的金属钇中杂质含量很低，纯度达到99.91%。采用以上工艺方法除可制备金属钇外，利用二次蒸馏的DyCl 3、HoCl 3和ErCl 3，可制备纯度较高的金属镝、钬与铒。
