BaTiO<,3>薄膜是具有高介电常数和铁电性的陶瓷膜，在动态存储器(DRAM)、薄膜存储器等方面具有良好的应用前景，因而无论从工业生产和科研的角度来看，都非常具有开发潜力。通过改变溶胶合成过程中溶剂的选择、加水量、冰醋酸量、螯合剂以及溶胶的浓度等参数，考察了各种条件对稀土掺杂钛酸钡薄膜微观形貌的影响，找到了溶胶合成阶段的最优工艺条件。在甩膜后的热处理阶段借助差热-热重、红外、X-射线衍射仪、SEM(扫描电子显微镜)、SPM(电子探针显微镜)等先进仪器考察了不同干燥条件对薄膜晶体生长及烧结过程的影响，探索了稀土掺杂钛酸钡薄膜干燥机理和纳米陶瓷膜微观形成机理。该课题的创新点是：采用新的溶胶体系制备细微电子陶瓷膜前躯体；应用了先进得电子探针显微镜技术从三维的角度跟踪了薄膜的形成过程，得到了钛酸钡薄膜的生长习性；通过干凝胶薄膜分解、薄膜烧结两步煅烧等工艺条件的控制优化，得到大面积均匀致密的掺杂钛酸钡超薄陶瓷膜，这将对薄膜电性能有重要影响。该课题使钛酸钡系列薄膜材料向微小型电子产品发展提供了更为广阔的制备基础，可提高中国电子产品尤其是计算机、通讯设备、控制系统的的品质。
