学院授予单位国立台湾科技大学 | 学位年度2009 |
学位名称2 | 导师姓名林荣庆 |
作者名称黄信宗 | 学科专业暂无 |
分类号暂无 | 提取词暂无 |
关键词原子力显微镜 振动 加速规 | |
本研究主要是探討接觸式原子力顯微鏡(Contact Mode Atomic Force Microscopy,CM-AFM)使用不同探針懸臂外型與尺寸所造成不同的量測誤差與輕敲式原子力顯微鏡(Tapping Mode Atomic Force Microscopy,TM-AFM)矩形懸臂探針在外界振動的影響下所造成不同的量測誤差，並且建立探針與奈米級階梯形標準試片與接CM-AFM及TM-AFM之奈米級模擬量測模型。本文之模擬方法為當探針經過試片表面，利用Morse勢能計算出探針原子對試片原子之作用力，配合