专利类型发明专利 |
申请类型企业 |
申请方名称张兴宇 , 李开杰 , 罗斯诗 , 邵学亮 , 先导薄膜材料(广东)有限公司 , 顾德盛 |
发明人暂无 |
申请号CN202310691429.9 |
公开号CN116835964A |
国际申请暂无 |
申请日2023-06-12 00:00:00 |
主分类号C04B35/01 |
代理机构清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 |
代理人黄迅 |
公开日2023-10-03 00:00:00 |
优先权暂无 |
进入国家日暂无 |
国际公布日暂无 |
国际申请日暂无 |
地址511500 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区 |
检索词暂无 |
1.一种低锆含量氧化铟铈钽钛靶材的制备方法,其特征在于,包括如下制备步骤：(1)按质量比为98.73～99.42 : 0.43～0.19 : 0.64～0.30 : 0.20～0.09称取氧化铟粉末、氧化铈粉末、氧化钽粉末和氧化钛粉末；(2)将第一分散剂加入到纯水中搅拌溶解均匀,然后加入步骤(1)中称取好的氧化铈粉末、氧化钽粉末和氧化钛粉末,搅拌进行预分散,将预分散后的浆料用泵打入装有氧化锆球的砂磨机中进行研磨,得到浆料一；(3)将步骤(1)中称取好的氧化铟粉末、第二分散剂和补加水加入浆料一,搅拌进行预分散,将预分散后的浆料用泵打入砂磨机中进行研磨,得到浆料二；(4)向步骤(3)所得的浆料二中加入粘结剂进行预分散,通过砂磨机研磨得到浆料三；(5)将步骤(4)中得到的浆料三通过喷雾造粒,再进行混料和筛分,得到混合氧化物粉末；(6)将步骤(5)所得混合氧化物粉末经过干压和冷等静压后得到靶胚,对所得靶胚进行热处理,得到低锆含量氧化铟铈钽钛靶材。步骤(6)中所述热处理过程为：先在空气气氛及400～600℃温度下进行脱脂处理,然后冷却至室温,通入氧气,在氧气气氛下升温至1100～1500℃进行常压烧结处理。