专利类型发明专利 |
申请类型机构 |
申请方名称盐城工学院 , 周海 , 杨友明 , 蒋网 , 胡士响 , 樊浩 , 孟子扬 |
发明人暂无 |
申请号CN202310522862.X |
公开号CN116589927A |
国际申请暂无 |
申请日2023-05-10 00:00:00 |
主分类号C09G1/02 |
代理机构深圳泛航知识产权代理事务所(普通合伙) 44867 |
代理人张智轶 |
公开日2023-08-15 00:00:00 |
优先权暂无 |
进入国家日暂无 |
国际公布日暂无 |
国际申请日暂无 |
地址224002 江苏省盐城市亭湖区希望大道中路1号 |
检索词暂无 |
1.一种适合氮化镓紫外光催化辅助化学机械抛光液制备和抛光方法,其特征在于：包括旋转头(1)、砝码160g(2)、石英板(3)、氮化镓晶片(4)、抛光盘(5)、抛光垫(6)、自制抛光液(7)、紫外光UV灯(8),具体各个部件位置见图2示意图。