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稀土专利
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使用具有低/零耦合边界区域的多层换能材料的声波谐振器

发布时间:2025-04-15    |  【  大    中    小  】  |  【 打印 】 【 关闭 】
专利类型发明专利
申请类型暂无
申请方名称Ralph Rothemund , Milad Zolfagharloo Koohi , Jyothi Swaroop Sadhu , Michael Schaefer , Andreas Tag
发明人暂无
申请号US18150627
公开号US20230223920A1
国际申请暂无
申请日2023-01-05 00:00:00
主分类号H03H9/13
代理机构暂无
代理人暂无
公开日2023-07-13 00:00:00
优先权US63324968;US63298251
进入国家日暂无
国际公布日暂无
国际申请日暂无
地址Greensboro NC US
检索词暂无
1. A Bulk Acoustic Wave (BAW) resonator, comprising : a bottom electrode; a top electrode structure; and a multilayer transduction structure sandwiched between the bottom electrode and the top electrode structure, wherein : the multilayer transduction structure is composed of a plurality of transduction layers; at least one of the plurality of transduction layers is formed of a first ferroelectric material, whose polarization varies with an electric field across the first ferroelectric material; each of the plurality of transduction layers includes a transduction border (BO) portion positioned at a periphery of a corresponding transduction layer and a transduction central portion surrounded by the transduction BO portion, wherein a combination of the transduction BO portion of each of the plurality of transduction layers forms a transduction BO section of the multilayer transduction structure, and a combination of the transduction central portion of each of the plurality of transduction layers forms a transduction central section of the multilayer transduction structure; and the transduction BO section has a first electromechanical coupling coefficient, and the transduction central section has a second electromechanical coupling coefficient, which is larger than the first electromechanical coupling coefficient of the transduction BO section, wherein the transduction central section is configured to provide a resonance of the BAW resonator.
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