伺服机构是将电信号及磁信号等的能量变换为机械能的机构，利用材料的磁致伸缩效应开发的伺服器件已有很多。利用REFe2材料的低场大应变、大输出应力、高响应速度(100μs ~ lms)且无反冲的特征，可以制成结构简单的微位移致动器，广泛用于超精密定位、激光微加工、精密流量控制、原子力显微镜、数控车床、机器人和阀门控制等方面。
薄膜型超磁致伸缩微执行器的开发与应用是目前研究的一个热点。这类执行器是采用一些传统的半导体工艺，在非磁性基片(通常为硅、玻璃、聚酰亚胺等)的上、下表面采用闪蒸、离子束溅射、电离镀膜、直流溅射、射频磁控溅射等方法分别镀上具有正(如: Tb, Fe)、 负(如: Sm, Fe)磁致伸缩特性的薄膜制成。当在长度方向外加磁场时，产生正磁致伸缩的上表面薄膜伸长，而产生负磁致伸缩的下表面薄膜缩短，从而带动基片偏转和弯曲以达到驱动的目的。
此外，REFe2高能量密度的特性还可用于制作高能微型马达和其他机械功率源。例如采用REFe2磁致伸缩材料制成的直线执行器，可以用来替代传统的步进马达用在计算机外设上，如计算机打印头、磁盘寻道头和显示屏等。