采用氯化氢为氯化剂的氯化方法制得的无水稀土氯化物均含有定数量的氧、碳等杂质，一般只能用于制取工业纯稀土金属或做催化剂使用。为了制取纯度较高的稀土金属和材料，通常采用真空蒸馏法除去无水稀土氯化物中的氧、碳、铝、硅、铁和碱金属等杂质，使其纯度获得较大的提高。将粗制的无水稀土氯化物置于真空蒸馏炉内的镍(或钼)制坩埚中，放好上部的冷凝器后炉子即开始抽空。蒸馏作业在900~1000℃和0.13Pa真空下进行。被蒸出的稀土氯化物进入上部冷凝器凝结下来，而氧、碳等杂质则留在坩埚底部。蒸馏结束后炉内充入氩气，并将冷凝器部位加热至900 ℃，使凝结的氯化物流入下面的钼坩埚，冷却后取出。真空蒸馏稀土氯化物的直收率约为90%， 蒸馏提纯氯化钇时的蒸馏速度为0.30~0.36kg/h。
