用于微波器件的大面积钇钡铜氧（ＹＢＣＯ）超导薄膜是研究微波器件的关键材料。采用国内第一台大直径筒形原位中空柱状阴极直流磁控制溅射装置和原位热处理二步法制备的ＹＢＣＯ大面积超导薄膜一次成膜可达４０×５０（ｍｍ），且工艺稳定，重复性好。制成的薄膜零电阻温度Ｔｃｏ为８９～９１Ｋ；临界电流密度Ｊｃ为３×１０＜＇６＞Ａ／ｃｍ＜＇２＞（７７Ｋ，ＯＴ）；微波表面电阻Ｒｓ≤２５０μΩ（７７Ｋ，１０ＧＨｚ），达到国际先进水平。国内多家单位用该膜制成的谐振器、滤波器、超导天线等器件，关键性能均已达到或接近世界先进水平。